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詳細介紹
PVD/CVD基片加熱載臺可根據工藝選配升降、旋轉功能，提高材料的生長質量。外殼配置水冷，*工作安全可靠。
2、技術參數
| 適用基片 | 8"(另可選6"、12") |
| 加熱溫度 | 800℃（更高溫度可定制） |
| 溫度均勻性 | 600℃：±10 |
| 可耐真空度 | ≤10-6Pa |
| 升降功能 | 選配 |
| 旋轉功能 | 選配 |
、
PVD/CVD基片加熱載臺
成都華聚科技有限公司位于成都市經濟技術開發區（龍泉驛），是一家以自動化設備技術為核心，致力于數字化智能制造裝備的高科技企業。
公司與國內外多個研究所、高校和企業*合作，始終以超前的科技和強大的創新能力，服務于客戶。
公司主營業務覆蓋：Cluster團簇式半導體工藝設備、PECVD設備、PVD設備、CVD設備、核心部件（機械手、加熱器、Cluster團簇中心傳送平臺）、定制化真空設備、機電一體自動化服務（機電物聯網服務）等一系列的產品或解決方案。
公司始終以“技術體現我們的智慧，質量體現我們的尊嚴” 作為公司經營理念，同時加強售前售后服務，我們始終以“質量良好、服務優先、技術*”作為追求目標。
公司匯聚了眾多相關領域的人才，針對客戶的產品特點提供專業解決方案，更能以優質的標準及非標產品超越客戶的期望，深受廣大客戶的認可和贊譽！
公司現有26人專業團隊，并另聘請研究員1人，大學材料教授和等離子物理團隊6人，高級工程師2人，涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理，器件物理、化管理等方面的各種人才。
Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).
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