真空系統采用特種設計技術,具有操作安全、方便、真空度好,極限真空度可達20kpa,密封性好,真空保持時間長。該氣氛爐可充入高壓氣體,氣氛壓力極限值0.1MPa,采用*的密封技術,可長時間保壓,安全性能好,操作方便。 燒結爐以1800型硅鉬棒為加熱元件,采用雙層殼體結構和40段程序控溫系統,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用1800型氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風冷系統,能快速對溫控系統降溫,氣氛爐采用外殼整體密封、蓋板密封采用硅膠泥、爐門采用硅膠墊、并通有水冷系統,氣體經過流量計后由后膛進出,有多處洗爐膛進氣口、出氣口處有燃燒嘴,可以通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院機構、工礦企業做氣氛保護燒結、氣氛還原用的理想產品。
●應用:高溫燒結爐爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
●特點:
1.可精密控制設備運行狀態,確保產品的質量。
2.溫度和壓力控制為全自動操作,保證了生產工藝過程穩定。
3.石墨發熱體圍繞石墨內膽配置,保證了優異的溫度分布與均一性。可帶多氣氛控制。
●高溫燒結積爐主要配置:
1.爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
2.爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
3.爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
4.加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
5.工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
6.真空泵和真空計---進口/國產
7.PLC:歐姆龍/西門子/臺達
8.控溫儀表:日本島電/英國歐陸
9.熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
10.記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
11.人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
12.電器元件:正泰/施耐德/西門子/ABB
13.料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
●高溫燒結積爐技術特征:
1.本化學氣相沉積爐大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
2.本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
3.本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
4.本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
5.本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。