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| 測量范圍 | 1?×?10-7?...?5?(7.6?10-8?...?3.8)毫巴(托) | 精度 | 5 |
|---|---|---|---|
| 重量 | ≤700g | 尺寸 | 68×68×137 |
英福康OPG550光學等離子體真空計
INFICON Augent™光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監測解決方案。體積小巧的Augent™集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監測時，壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴；總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent™自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器，當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。
在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內，該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。
優勢
• 高速檢漏，可進行試驗箱泄漏檢查
• 提高生產率和產量
• 使用壽命長，燈絲不易燒毀，防空氣侵入
• 耐過程化學腐蝕
• 采用智能算法，易于集成
• 結構緊湊，空間占用小
• 啟動快速可靠
應用范圍
• 試驗箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗速度
• 進行泄漏檢查，以查找供氣管路的內部泄漏
• 實時端點控制
• 氣體類型和濃度控制
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