技術參數 |
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電源 | ● 220V 50/60HZ |
紫外燈 | ● UV燈管 ● 功率:55W ● 發出光的波長:波長254nm+185nm ● 使用壽命:6000h小時 ● 照射區域:100 x 100 mm ● 光照強度:4.6 mw/cm2
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腔體 | ● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm ● 標配高純石英片用于盛放樣品,避免污染
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應用 | ● 去除分子級別的污染物 ● 紫外光固化粘合劑 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蝕 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片 |
環境要求 | ● 僅室內使用; 海拔高度在5,562英尺以內 ● 溫度范圍41-104華氏度 ● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度 ● 主電源波動不超過標稱電壓的10% ● 污染等級2; 臭氧水平(環境)測量<45 ppb |
外形尺寸 | ● 240mm*200mm*165mm
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凈重 | 4公斤 |
認證 | CE認證 |
質保期 | ● 一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ● 點擊查看售后服務承諾書。 |
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