技術參數 |
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主要參數 | ● 射頻功率:0-500W ● 總功率:1.5KW ● 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源 | ● 射頻功率可在0-500W之間調節 ● 頻率:13.56MHz 注:可與本公司工作人員聯系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機 |
等離子腔體 | ● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 ● 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封 ● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 ● 此設備屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏 |
控制面板 | ● 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等 ● 儀器內部安裝有一0 - 100ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量 |
真空泵(選配) | ● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ● 極限真空度為80mTorr(參考值,具體請點擊) ● |
通入氣體 | ● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定) ● 不能使用及腐蝕性氣體。 |
可選 | ● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ● 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統 ● |
外形尺寸 | 620 L ×600 W ×600 H mm
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認證 | CE認證 |
質保期 | ● 一年保修,終身技術支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ● 點擊查看售后服務承諾書。 |
相關應用 | ● 請自行根據您的應用測試等離子功率 ● 對于等離子清洗,根據工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ● 對于等離子刻蝕,根據工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ● 可根據要求提供300W高功率射頻電源 |