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上海進申工貿有限公司
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■設計用于氣體公司、設備制造商和半導體制造商的工藝氣體柜中的點式使用介質流量
■設計用于氣體公司、設備制造商和半導體制造商的工藝氣體柜中的點式使用
介質流量。
■精確控制工藝工具處或附近的氣體壓力，在 300 PSIG 入口處的流速高達 250 SLPM。
■所有內表面都經過10Ra 或5Ra 處理，以確保最小的顆粒產生和殘留。
金屬-金屬隔膜密封增強了防漏完整性。
■組裝、焊接、測試和最終清潔的每一步都在 100 級潔凈室中完成。
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