6"圓晶MEMS釋放后的超臨界點干燥儀;
潔凈室和防靜電兼容設計;
通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;
所有內表面均適用于液態二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;
每個操作模式LED顯示,一目了然;
集成自動控溫;
內置圓盤裂片保證安全;
可以一次干燥5片直徑為6"的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4"、3"、2"的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
靜態壓力控制模塊,自動控制系統壓力和保持壓力穩定性;
0.4μm內部過濾器系統輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態;
擁有高效隔熱的冷卻系統,使系統能夠迅速從室溫降到將近0°C;
標配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
樣品室填塊可以調整樣品室內徑到4"、3",2",1.25",使LCO2的使用效率和處理時間達到;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;