當前位置：鄭州科佳電爐有限公司>>化學氣相沉積系統(CVD)>>高真空CVD系統>> KJ-T1200-CVD大口徑CVD管式爐
| 型號 | KJ-T1200-CVD |
| 顯示 | 液晶顯示屏 |
| 部分 | |
| 爐膛 | 分體式和上部可以打開 |
| 工作溫度 | 1100°C |
| 加熱速率 | 建議：0?10℃/ min（20℃/ min） |
| 加熱溫區 | 500mm |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | 外徑200mm X長度1200mm |
| 供電電源 | 三相380V，50HZ |
| 功率 | 20KW （功率以實際設計為準） |
| 溫度控制器 | 30段高精度數字可編程溫度控制器 |
| 第二部分混氣系統 七星華創 | |
| 量程 MFC1 H2 0-200sccm 氫氣 MFC2 NH3 0-200sccm 氨氣 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷專用流量計） | LCD觸摸屏 |
| 第三部分 電阻硅真空計 | |
| 第四部分 射頻電源 | |
| 更多規格可根據需求定制 | |
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