技術參數 1 近場掃描光學顯微鏡NSOM操作模式: 透射模式,反射模式,收集模式,照明模式
2 原子力顯微鏡AFM操作模式: 敲擊模式,接觸模式選配,所有探針或樣品掃描的AFM操作模式
3 微分干涉對比DIC : 反射和透射
4 折射率成像Refractive-Index Profiling: 反射和透射
5 在線遠場共聚焦和拉曼及熒光光譜成像: 反射和透射,針對選擇性拉曼散射超薄膜的探針增強拉曼散射
6 熱傳導及擴展電阻成像: 接觸模式,敲擊模式,音叉反饋模式無反饋激光引入干擾信號,選配;熱探針可作為納米加熱器使用,納米熱分析、納米相轉變等應用
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SPM掃描頭規格
1 樣品掃描器:壓電材料制薄片掃描器 3D Flat Scanner™;厚度為7毫米
2 SPM掃描范圍: 樣品掃描,*大100 microns XYZ
3 掃描分辨率: < 0.005 nm Z
< 0.015 nm XY
< 0.002 nm XY 低電壓模式
4 粗調定位范圍:6毫米
5 反饋機制:懸臂梁光束反彈反饋,音叉反饋選配
6 樣品尺寸:標準配置下,直徑*大*16毫米;正置顯微鏡下使用,直徑*大*34毫米 特殊樣品形狀:如豎直樣品進行邊緣成像等
7 探針:各種針尖外露的玻璃探針,各種常規懸臂梁硅探針均可使用
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成像分辨率1 遠場: 受光衍射幾何限制
2 光學: 500納米
3 共聚焦: 200納米
4 近場掃描光學: 100納米,條件下可達到50納米由探針孔徑決定
5 形貌: Z向噪聲0.05納米 rms;XY橫向分辨率:由針尖直徑和樣品的卷積決定
6 熱成像: 100納米起,溫度靈敏度0.01ºC,300 ºC或更高由樣品決定
7 電阻成像: 25納米