當前位置：鄭州科佳電爐有限公司>>化學氣相沉積系統(CVD)>>低真空CVD系統>> KJ-T1600 -3M3通道CVD設備
| 產品名稱 | 3通道CVD設備 | |
| 型號 | KJ-T1600 -3M | |
| 管式爐部分 | 顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區 | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2 | |
| 熱電偶 | B型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 80x1000mm | |
| 材質：氧化鋁管 | ||
| 塞磚 | 包括兩個纖維陶瓷塊，用于阻擋來自管內的熱輻射（陶瓷塊必須在加熱前插入爐腔）。 | |
| 溫度控制 | PID自動控制 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電源 | 220V, 50 Hz, 單相6KW | |
| 質量流量計 （液晶觸摸屏） | 三臺精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍0~200 sccm MFC 3：氣體流量范圍0~200 sccm （氣體流量范圍可根據您的要求） 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合 | |
| 更多參數可按需定制 | ||
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
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