當前位置：鄭州科佳電爐有限公司>>化學氣相沉積系統(CVD)>>低真空CVD系統>> KJ-T1600 CVD1600 CVD 系統
| 產品名稱 | 1600 CVD 系統 | |
| 產品型號 | KJ-T1600 CVD | |
| 部分：標準部分 | ||
| 管式爐 | 顯示 | LED |
| 爐體 | 分體式和上部可以打開 | |
| 溫度 | 1600℃ | |
| 工作溫度 | ≤1500℃ | |
| 升溫速率 | 0~10℃/min | |
| 溫區 | 300mm | |
| 加熱元件 | MoSi2加熱元件 | |
| 熱電偶 | B 型 | |
| 溫度控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管 | 80 x 1000mm (OD x minimum L) | |
| 材質：高純氧化鋁管 | ||
| 溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30 步可編程 | |
| 真空法蘭 | 帶閥門的不銹鋼真空法蘭 | |
| 電壓與功率 | 220V, 50 Hz, 單相 4KW | |
| 真空泵系統 | 旋片真空泵+擴散真空泵 | 真空泵組：極限真空10-6 Torr。 旋片真空泵和擴散真空泵將設計成推車帶輪子。 |
| 質量流量計 | 四個精密質量流量計： 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝6個不銹鋼針閥，手動控制6種氣體混合 | |
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